用于對氦質(zhì)譜檢漏儀進行校準。常用的漏率為1.0-2.0×10-8Pa·m3/s。
1.漏率范圍：1.0×10-10到5.0×10-8Pa·m3/s。
2.接口KF25或M14內(nèi)螺紋接口。
